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洁净室净化行业发展趋势及前景

发布时间:2021-12-12人气:191

清洁厂房是中国的主要能源消耗者之一。据不完全统计,洁净室的能耗是普通办公楼的10 ~ 30倍。在中国8英寸芯片工厂,洁净室单位面积能耗比美国同类工厂高15%(美国能耗为1.28kw/m2~2.63kW/m2,而中国为1.48kW/m2~1.93kW/m2)。以上海某知名芯片厂为例,其年用电量的51%用于洁净室运行及相关维护。假设这51%的能耗合理降低,意味着企业利润增加。


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因此,洁净室下游相关专业企业越来越重视洁净室节能。这就呼吁洁净室工程专业企业从客户需求出发,从规划理念、生产建设、设备运营等方面停止节能规划。而只有采用全方位的节能技能,才能让整个洁净室的专业人才得以延续和健康发展。


空气污染AMC作为Ic工厂最关心的问题,最早由日本在20年前提出。近年来,国际集成电路卡技术发展迅速,集成电路芯片日益小型化。目前曾经有最小的国际非接触式射频识别芯片,中标直径0.4lilln,AMC对当前IC消费的潜在污染比颗粒污染更为普遍,颗粒污染控制只需确认颗粒大小和数量即可。但对于AMC控制来说,不仅受到芯片线宽减小的影响,还受到工艺、工艺设备、工艺材料和传输系统等的影响。


更何况各种工艺材料(化学品、特殊气体等。)用于某一过程的往往可能是下一过程的污染物在很多情况下。因此,在IC消费中,AMC已经成为一些加工工序和工序在物料传输和存储环境中严重影响废品率的重要问题,AMC分子操控技能也成为洁净室规划建设的主流趋势。目前,国内洁净室工程专业企业已经开始从事这方面的研究。

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